磁敏傳感器是傳感器產(chǎn)品的一個(gè)重要組成部分,隨著(zhù)我國磁敏傳感器技術(shù)的發(fā)展,其產(chǎn)品種類(lèi)和質(zhì)量將會(huì )得到進(jìn)一步發(fā)展和提高,進(jìn)軍汽車(chē)、民用儀表等這些量大面廣的應用領(lǐng)域即將實(shí)現。國產(chǎn)的電流傳感器、高斯計等產(chǎn)品日前已經(jīng)開(kāi)始走入國際市場(chǎng),與國外產(chǎn)品的差距正在快速縮小?!?/p>
一、磁敏傳感器的發(fā)展特點(diǎn)
1.集成電路技術(shù)的應用。將硅集成電路技術(shù)應用于磁敏傳感器,制成集成磁敏傳感器。
2.InSb薄膜技術(shù)的開(kāi)發(fā)成功,使得霍爾器件產(chǎn)能劇增,成本大幅度下降。
3.強磁體合金薄膜得到廣泛應用。各種磁阻器件出現,應用領(lǐng)域廣泛。
4.巨磁電阻多層薄膜的研究與開(kāi)發(fā)。新器件的高靈敏度、高穩定性,引起研制高密度記錄磁盤(pán)讀出頭的科技人員的極大關(guān)注。
5.非晶合金材料的應用。與基礎器件配套應用,大大改善了磁傳感器性能。
6.Ⅲ—V族半導體異質(zhì)結構材料的開(kāi)發(fā)和應用。通過(guò)外延技術(shù),形成異質(zhì)結構,提高磁敏器件的性能。
二、國外磁敏傳感器的現狀
1.國外磁傳感器的常見(jiàn)種類(lèi)
就市場(chǎng)占有情況來(lái)看,國外磁敏傳感器主要品種依然是霍爾元件、磁阻元件。近期的巨磁阻元件也有良好的發(fā)展空間。
2.外磁傳感器的代表廠(chǎng)商:
·霍爾元件:日本旭化成;日本東芝;美國Honeywell公司;美國Allogro公司。
·磁阻器件:日本SONY公司;荷蘭PHILIPS公司。
3.國外磁傳感器的應用情況
磁敏傳感器應用的最大特點(diǎn)是無(wú)接觸測量。